微小導体球静電マニピュレーションにおける球･基板間近接手法

Publication Information

Title

Japanese:	微小導体球静電マニピュレーションにおける球･基板間近接手法
English:	Electrostatic manipulation of a micro-conductive particle with short particle-plate distance

Author

Japanese:	中林大三, 澤井賢司, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
English:	Daizo Nakabayashi, Kenji SAWAI, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2011年度精密工学会春季大会論文集
English:

Volume, Number, Page

pp.879-880

Published date

Mar. 2011

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2011年度精密工学会春季大会
English:

Conference site

Japanese:
English: