静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発

Publication Information

Title

Japanese:	静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発
English:	An Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Fibers for Curved Surface

Author

Japanese:	澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
English:	Kenji SAWAI, wataru takarada, TAKESHI KIKUTANI, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2011年度精密工学会春季大会論文集
English:

Volume, Number, Page

pp.877-878

Published date

Mar. 2011

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2011年度精密工学会春季大会
English:

Conference site

Japanese:
English: