微細CMOSプロセスを用いたMEMS駆動用26V出力チャージポンプ回路

Publication Information

Title

Japanese:	微細CMOSプロセスを用いたMEMS駆動用26V出力チャージポンプ回路
English:

Author

Japanese:	白根篤史, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉.
English:	Atsushi Shirane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

June 1, 2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第2種研究会・LSIとシステムのワークショップ2012
English:

Conference site

Japanese:	福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目9番30号
English:

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