VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコンのフッ硝酸による粒径縮小

Publication Information

Title

Japanese:	VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコンのフッ硝酸による粒径縮小
English:

Author

Japanese:	近藤信啓, 染野健, 中峯嘉文, 宇佐美浩一, 小寺哲夫, 河野行雄, 小田俊理.
English:	Nobuhiro Kondo, Ken Someno, Yoshifumi Nakamine, kouichi usami, Tetsuo Kodera, Yukio Kawano, SHUNRI ODA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2012

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	愛媛県松山市
English: