回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築

Publication Information

Title

Japanese:	回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 丸山智史, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益一哉, 年吉洋.
English:	Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

July 26, 2013

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会第４回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
English:

Conference site

Japanese:	大阪府
English: