CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-

Publication Information

Title

Japanese:	CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析-集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益一哉, 年吉洋.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

SIPH2013-99

Published date

Oct. 18, 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	電子情報通信学会シリコン・フォトニクス研究会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English:

Official URL