VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコン中のトラップの評価

Publication Information

Title

Japanese:	VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコン中のトラップの評価
English:

Author

Japanese:	近藤信啓, 舩木健伍, 中峯嘉文, 宇佐美浩一, 小寺哲夫, 河野行雄, 小田俊理.
English:	Nobuhiro Kondo, Kengo Funaki, Yoshifumi Nakamine, kouichi usami, Tetsuo Kodera, Yukio Kawano, SHUNRI ODA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2013

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第74回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	京田辺市
English: