ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法

Publication Information

Title

Japanese:	ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法
English:	Local Pattern Modification Method for Lithographical ECO in Double Patterning

Author

Japanese:	宮辺祐太郎, 高橋篤司, 松井知己, 小平行秀, 横山陽子.
English:	Miyabe Yutaro, Atsushi Takahashi, Tomomi Matsui, Yukihide Kohira, Yoko Yokoyama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2013-149)
English:	IEICE Technical Report (VLD2013-149)

Volume, Number, Page

Vol. 113 No. 454 pp. 87-92

Published date

Mar. 4, 2014

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	VLSI設計技術研究会
English:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

Conference site

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