立体Si構造における局所的な界面準位密度の抽出

Publication Information

Title

Japanese:	立体Si構造における局所的な界面準位密度の抽出
English:

Author

Japanese:	小路智也, 角嶋邦之, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 若林整, 筒井一生, 名取研二, 岩井洋.
English:	Tomoya Shoji, Kuniyuki KAKUSHIMA, Yoshinori Kataoka, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, HIROSHI IWAI.

Language

Japanese

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Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

2014

Publisher

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Conference name

Japanese:	ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―（第19回研究会）
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Conference site

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