マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討

Publication Information

Title

Japanese:	マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉, 年吉洋, 町田克之.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

pp. 29pm2-D-4

Published date

Oct. 28, 2015

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第7回集積化MEMSシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	新潟県
English: