マイクロ圧縮試験によるMEMS用金電気めっきの機械的特性の評価

Publication Information

Title

Japanese:	マイクロ圧縮試験によるMEMS用金電気めっきの機械的特性の評価
English:

Author

Japanese:	葭葉将治, 陳君怡, TSO-FU MARK CHANG, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
English:	Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 19, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第63回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: