レーザダイシングにおける加工条件がSiCウェハの加工精度に及ぼす影響

Publication Information

Title

Japanese:	レーザダイシングにおける加工条件がSiCウェハの加工精度に及ぼす影響
English:	Influence of Machining Conditions on Cut Quality of Laser Diced SiC Wafer

Author

Japanese:	バチスタレアンドロ, 酒井康徳, 朱疆, 吉岡勇人.
English:	Leandro Batista Da Silva, Yasunori Sakai, JIANG ZHU, Hayato Yoshioka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会関東支部第22期総会講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

No. 160-1

Published date

Mar. 10, 2016

Publisher

Japanese:	日本機械学会
English:

Conference name

Japanese:	日本機械学会関東支部第22期総会講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English:	Tokyo