フォーミングガスプラズマ処理によるシリコンナノワイヤ/アルミナ膜のキャリアライフタイムの改善

Publication Information

Title

Japanese:	フォーミングガスプラズマ処理によるシリコンナノワイヤ/アルミナ膜のキャリアライフタイムの改善
English:

Author

Japanese:	加藤慎也, 阿部祐介, 白柳裕介, 黒川康良, 宮島晋介, 小長井誠.
English:	加藤慎也, 阿部祐介, 白柳裕介, 黒川康良, Shinsuke Miyajima, 小長井誠.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

May 19, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	長岡
English: