微小電気機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術 （招待講演）

Publication Information

Title

Japanese:	微小電気機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術（招待講演）
English:

Author

Japanese:	曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根大輔, 益一哉, 町田克之.
English:	Masato Sone, Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第6回CSJ化学フェスタ
English:

Volume, Number, Page

Published date

Nov. 15, 2016

Publisher

Japanese:	日本化学会
English:

Conference name

Japanese:	第6回CSJ化学フェスタ
English:

Conference site

Japanese:
English: