3Dプリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発

Publication Information

Title

Japanese:	3Dプリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発
English:

Author

Japanese:	河野健人, HEMTHAVYPASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
English:	Kento Kawano, PASOMPHONE HEMTHAVY, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 15, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2016年度精密工学会春季大会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:
English: