電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価

Publication Information

Title

Japanese:	電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価
English:

Author

Japanese:	寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋.
English:	Minami Teranishi, Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	平戸
English: