微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価

Publication Information

Title

Japanese:	微小引張試験片を用いたMEMS用金めっき材料の機械的特性の評価
English:

Author

Japanese:	柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人, 名越貴志.
English:	Sari Yanagida, Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone, Takashi Nagoshi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	平戸
English: