積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法
English:

Author

Japanese:	佐布晃昭, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
English:	Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

p. 25pm4-PM-008

Published date

Oct. 24, 2016

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第8回集積化MEMSシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	長崎県
English:

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