積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	応用物理学会 2017年春季講演会
English:

Volume, Number, Page

p. 14p-P3-16

Published date

Mar. 14, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会 2017年春季講演会
English:

Conference site

Japanese:	横浜
English: