対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜の作製

Publication Information

Title

Japanese:	対向ターゲットスパッタ法によるi-a-Si:Hパッシベーション膜の作製
English:

Author

Japanese:	白取優大, ファリスアキラビンモハマドズルキフリ, 中田和吉, 宮島晋介.
English:	Yuta Shiratori, Bin Mohd Zulkifly Faris Akira, Kazuyoshi Nakada, Shinsuke Miyajima.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

July 20, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第14回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	名古屋
English: