熱ナノインプリント法による原子ステップ型超平坦ポリマー基板上への半導体ナノパターンの作製

Publication Information

Title

Japanese:	熱ナノインプリント法による原子ステップ型超平坦ポリマー基板上への半導体ナノパターンの作製
English:	Fabrication of semiconductor nanopatterns on atomically stepped ultra-flat polymer substrates by thermal nanoimprint technique

Author

Japanese:	後藤里紗, 山田志織, 三宮工, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Risa Goto, Shiori Yamada, Takumi Sannomiya, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Aug. 25, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

Conference site

Japanese:	福岡県福岡市
English:	Fukuoka

Official URL