発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討

Publication Information

Title

Japanese:	発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討
English:

Author

Japanese:	折原恒祐, 高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
English:	Kosuke Orihara, Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

31am3-PLN-2

Published date

Oct. 31, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	広島県
English:

Official URL