マスク位置ずれに対する耐性を持つLELECUTトリプルパターニングのためのマスク割り当て手法

Publication Information

Title

Japanese:	マスク位置ずれに対する耐性を持つLELECUTトリプルパターニングのためのマスク割り当て手法
English:	Mask Assignment with Tolerance for Misalignment in LELECUT Triple Patterning

Author

Japanese:	小平行秀, 児玉親亮, 松井知己, 高橋篤司, 野嶋茂樹, 田中聡.
English:	Yukihide Kohira, Chikaaki Kodama, Tomomi Matsui, Atsushi Takahashi, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	次世代リソグラフィワークショップ予稿集 (NGL2015)
English:	Collection of Abstracts, NGL 2015

Volume, Number, Page

pp. 35-36

Published date

July 2015

Publisher

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