LELEダブルパターニングにおけるFMアルゴリズムを用いた効率的なパターン局所修正手法

Publication Information

Title

Japanese:	LELEダブルパターニングにおけるFMアルゴリズムを用いた効率的なパターン局所修正手法
English:	Efficient Local Pattern Modification Method using FM Algorithm in LELE Double Patterning

Author

Japanese:	尾頭篤, 佐藤真平, 高橋篤司.
English:	Atsushi Ogashira, Shimpei Sato, Atsushi Takahashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2016-113)
English:	IEICE Technical Report (VLD2016-113)

Volume, Number, Page

Vol. 116 No. 478 pp. 67-72

Published date

Mar. 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	VLSI設計技術研究会
English:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

Conference site

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