MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率 に関する検討

Publication Information

Title

Japanese:	MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する検討
English:	A Study on Young’s Modulus of Micro-Cantilevers Fabricated by Au Electroplating for MEMS Accelerometers

Author

Japanese:	中島英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 益一哉, 曽根正人.
English:	Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	名古屋
English: