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Publication Information


Title
Japanese:Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討 
English: 
Author
Japanese: 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
English: Takasi Itikawa, Hirofumi Niijima, Sayaka Koga, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese: 
English: 
Volume, Number, Page        
Published date Oct. 30, 2018 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会） 
English: 
Conference site
Japanese:北海道 
English: 

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