1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討

Publication Information

Title

Japanese:	1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討
English:

Author

Japanese:	古賀達也, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
English:	Sayaka Koga, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 30, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）
English:

Conference site

Japanese:	北海道
English:

Official URL