ナノパルスプラズマCVDによる金属円管内へのDLC成膜

Publication Information

Title

Japanese:	ナノパルスプラズマCVDによる金属円管内へのDLC成膜
English:

Author

Japanese:	竹波慶大郎, 髙村瞭太, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
English:	Keitarou Takenami, Ryota Takamura, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第32回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
English:

Volume, Number, Page

pp. 68

Published date

Nov. 14, 2018

Publisher

Japanese:	一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム
English:

Conference name

Japanese:	第32回ダイヤモンドシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: