真空/絶縁体ハイブリッドアイソレーションを用いた薄膜トランスバース型μTEGの設計と性能

Publication Information

Title

Japanese:	真空/絶縁体ハイブリッドアイソレーションを用いた薄膜トランスバース型μTEGの設計と性能
English:

Author

Japanese:	大久保岳, 千脇那菜, 清野稔仁, 山下涼音, 菅原聡.
English:	Takashi Okubo, Nana Chiwaki, Toshimasa Seino, Suzune Yamashita, SATOSHI SUGAHARA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 17, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第65回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: