微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響

Publication Information

Title

Japanese:	微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響
English:

Author

Japanese:	河鰭康平, HEMTHAVYPASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
English:	Kohei Kawabata, PASOMPHONE HEMTHAVY, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本機械学会第9回マイクロ・ナノシンポジウム講演論文集
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 30, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本機械学会第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」
English:

Conference site

Japanese:	札幌
English: