CCASを用いた局所特徴量に基づくリソグラフィホットスポット検出器の検討

Publication Information

Title

Japanese:	CCASを用いた局所特徴量に基づくリソグラフィホットスポット検出器の検討
English:

Author

Japanese:	高橋秀和, 佐藤真平, 高橋篤司.
English:	Hidekazu Takahashi, Shimpei Sato, Atsushi TAKAHASHI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	DAシンポジウム2019 論文集
English:	Proc. DA Symposium 2019, IPSJ Symposium Series

Volume, Number, Page

pp. 99-104

Published date

Aug. 2019

Publisher

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Conference name

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Conference site

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