大面積集積化に向けたスパッタ二次元半導体 MoS2 薄膜のTop-gate nMISFETs チャネル応用

Publication Information

Title

Japanese:	大面積集積化に向けたスパッタ二次元半導体 MoS2 薄膜のTop-gate nMISFETs チャネル応用
English:

Author

Japanese:	松浦賢太朗, 清水淳一, 外山真矢人, 大橋匠, 坂本拓朗, 宗田伊理也, 石原聖也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
English:	Kenntarou Matsuura, Junnichi Shimizu, Mayato Toyama, Takumi Ohashi, Takuro Sakamoto, Iriya Muneta, 石原聖也, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 小椋厚志, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Feb. 28, 2019

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第216回研究集会
English:

Conference site

Japanese:	大阪
English: