UVインプリントにおける硬化収縮によるパターン形状変形の数値解析

Publication Information

Title

Japanese:	UVインプリントにおける硬化収縮によるパターン形状変形の数値解析
English:	Numerical Simulation of Pattern Shape Deformation Caused by Curing Shrinkage in UV Imprint

Author

Japanese:	大西有希, 山下龍之介, 天谷賢治, 平井義彦.
English:	Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第25回計算工学講演会論文集
English:

Volume, Number, Page

Published date

June 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第25回計算工学講演会
English:

Conference site

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