スパッタMoS2膜とTiSi2膜の界面におけるFGアニールによるコンタクト抵抗低減

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタMoS2膜とTiSi2膜の界面におけるFGアニールによるコンタクト抵抗低減
English:

Author

Japanese:	五十嵐智, 望月祐輔, 谷川晴紀, 濱田昌也, 松浦賢太朗, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
English:	Satoshi Igarashi, Yusuke Mochizuki, Haruki Tanigawa, Masaya Hamada, Kentaro Matsuura, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2019

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	北海道
English: