大面積集積化に向けたスパッタ堆積ノーマリーオフMoS2-nMISFETs

Publication Information

Title

Japanese:	大面積集積化に向けたスパッタ堆積ノーマリーオフMoS2-nMISFETs
English:

Author

Japanese:	松浦賢太朗, 濱田昌也, 濱田拓也, 谷川晴紀, 坂本拓朗, 堀敦, 宗田伊理也, 川那子高暢, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
English:	Kentaro Matsuura, Masaya Hamada, Takuya Hamada, Haruki Tanigawa, Takuro Sakamoto, Atsushi Hori, Iriya Muneta, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 小椋厚志, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第67回応用物理学会春期学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: