機械学習を用いたリソグラフィホットスポット検出手法と評価に関して

Publication Information

Title

Japanese:	機械学習を用いたリソグラフィホットスポット検出手法と評価に関して
English:	Machine Learning Based Lithography Hotspot Detection Method and Evaluation

Author

Japanese:	高橋秀和, 佐藤真平, 高橋篤司.
English:	Hidekazu Takahashi, Shimpei Sato, Atsushi Takahashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2019-106)
English:	IEICE Technical Report (VLD2019-106)

Volume, Number, Page

Vol. 119 No. 443 pp. 71-76

Published date

Mar. 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	VLSI設計技術研究会
English:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

Conference site

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