アモルファス炭素膜利用の電気・電子素子開発に関する基礎研究

Publication Information

Title

Japanese:	アモルファス炭素膜利用の電気・電子素子開発に関する基礎研究
English:	Fundamental Study on Fabrication of Electrical and Electronic Device Using Amorphous Carbon Films

Author

Japanese:	赤坂大樹.
English:	Hiroki Akasaka.

Type

Type:	Thesis (Ph.D.)
Country:	Japan

Language

Japanese

Organization name

Tokyo Institute of Technology

Report number

Conferred date

Judge