100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討

Publication Information

Title

Japanese:	100 nG/√Hz レベルを目指した分割 2 重電極を有する単一Au錘 3 軸 MEMS 加速度センサの検討
English:

Author

Japanese:	市川崇志, 内山晃宏, 古賀達也, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 飯田慎一, 伊藤浩之.
English:	Takasi Itikawa, Akihiro Uchiyama, Sayaka Koga, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第12回集積化MEMSシンポジウム
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Conference site

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