微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討

Publication Information

Title

Japanese:	微細毛構造を有する双極型静電チャックの性能向上のための加工法検討
English:	Processing method for improving performance of bipolar electrostatic chuck with micro hairy strucrure

Author

Japanese:	河鰭康平, 田岡祐樹, ヘムタビーパソムポーン, 高橋邦夫, 齊藤滋規.
English:	Kohei KAWABATA, Yuki TAOKA, Pasomuphone HEMTHAVY, Kunio TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

p. 501-502

Published date

Mar. 17, 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: