複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法に開発

Publication Information

Title

Japanese:	複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法に開発
English:	Development of manufacturing method of micro-hair electrostatic cyuck by water jet processing of composite material

Author

Japanese:	凌智寛, 田岡祐樹, ヘムタビーパソムポーン, 高橋邦夫, 齊藤滋規.
English:	Tomohiro RYO, Yuki TAOKA, Pasomuphone HEMTHAVY, Kunio TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

p. 499-500

Published date

Mar. 17, 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2020年度精密工学会春季大会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English:

DOI