吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響

Publication Information

Title

Japanese:	吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響
English:	The effect of a target polymer film's surface conductivity on the attractive force generated by a bipolar electrostatic chuck

Author

Japanese:	ジェレミーガブリエル, 田岡祐樹, 齊藤滋規.
English:	Jeremy GAVRIEL, Yuki TAOKA, Shigeki SAITO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2021年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 16, 2021

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2021年度精密工学会春季大会学術講演会
English:

Conference site

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English: