超ワイドギャップa-Ga-O薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果

Publication Information

Title

Japanese:	超ワイドギャップa-Ga-O薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果
English:	超ワイドギャップa-Ga-O薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果

Author

Japanese:	加藤昭宏, 笠井悠莉華, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.
English:	加藤昭宏, 笠井悠莉華, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Nov. 5, 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	薄膜材料デバイス研究会第17回研究会「薄膜デバイスの原点」
English:	薄膜材料デバイス研究会第17回研究会「薄膜デバイスの原点」

Conference site

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