RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW・SAW特性

Publication Information

Title

Japanese:	RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜のBAW・SAW特性
English:

Author

Japanese:	吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 舘山明紀, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治.
English:	吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, HIROSHI FUNAKUBO, 若林剛, 柴田憲治.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 16, 2021

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第68回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

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