多元同時スパッタリング法によるアモルファス酸化物固体電解質のコンビナトリアル合成手法開発

Publication Information

Title

Japanese:	多元同時スパッタリング法によるアモルファス酸化物固体電解質のコンビナトリアル合成手法開発
English:

Author

Japanese:	佐々木俊介.
English:	Shunsuke Sasaki.

Type

Type:	Thesis (Ph.D.)
Country:	Japan

Language

Japanese

Organization name

Tokyo Institute of Technology

Report number

甲第11815号

Conferred date

2022/03/26

Judge

File