ダブルクラッド型スポットサイズコンバータのSiON屈折率 Si/SiON/SiO変化における結合効率の向上の検討

Publication Information

Title

Japanese:	ダブルクラッド型スポットサイズコンバータのSiON屈折率 Si/SiON/SiO変化における結合効率の向上の検討
English:

Author

Japanese:	山口圭太, 槇原豊, WANG Yuduan, 大礒義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
English:	Keita Yamaguchi, Yutaka Makihara, Yuduan Wang, Yoshitaka Oiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 2022

Publisher

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Conference name

Japanese:	第69回応用物理会春季学術講演会
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