水熱合成または高周波スパッタリングにより成膜された (K,Na)NbO3膜のBAW・SAW伝搬特性

Publication Information

Title

Japanese:	水熱合成または高周波スパッタリングにより成膜された (K,Na)NbO3膜のBAW・SAW伝搬特性
English:

Author

Japanese:	吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 舘山明紀, 白石貴久, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治.
English:	吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, Yoshiharu Ito, Akinori Tateyama, Takahisa Shiraishi, HIROSHI FUNAKUBO, 若林剛, 柴田憲治.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Jan. 27, 2022

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	圧電材料・デバイスシンポジウム
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Conference site

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