MEMS-based Magnetic Actuators Using Thick-film FePt Permanent Magnet for Micropumps

Publication Information

Title

Japanese:	FePt 厚膜磁石を用いたマイクロポンプ用MEMS 電磁アクチュエータ
English:	MEMS-based Magnetic Actuators Using Thick-film FePt Permanent Magnet for Micropumps

Author

Japanese:	QI Chao, 永井慧大, 紀明, 宮原悠, 杉田直広, 進士忠彦, 中野正基, 佐藤千明.
English:	Chao Qi, Keita Nagai, 紀明, 宮原悠, Naohiro Sugita, TADAHIKO SHINSHI, 中野正基, Chiaki Sato.

Language

English

Journal/Book name

Japanese:	第31回MAGDA コンファレンス講演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 577-578

Published date

Nov. 1, 2022

Publisher

Japanese:	日本AEM学会
English:

Conference name

Japanese:	第31回MAGDA コンファレンスin 鹿児島
English:

Conference site

Japanese:	鹿児島
English: