Si/SiON/SiO2 ダブルクラッド型スポットサイズコンバータの SiON 屈折率変化における結合効率の向上の検討

Publication Information

Title

Japanese:	Si/SiON/SiO2 ダブルクラッド型スポットサイズコンバータの SiON 屈折率変化における結合効率の向上の検討
English:	Investigation of the Improvement of Coupling Efficiency of Si/SiON/SiO2 Double Clad Spot Size Converter by Changing SiON Refractive Index

Author

Japanese:	山口圭太, MOATAZShaher Anis Mahmoud Eissa, WANGYuduan, 大磯義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
English:	Keita Yamaguchi, Shaher Anis Mahmoud Eissa Moataz, Yuduan Wang, Yoshitaka Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

July 14, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第３回光集積及びシリコンフォトニクス(PICS)研究会
English:

Conference site

Japanese:	浜松
English: