超高真空スパッタリング装置を用いた高移動度多結晶 Zn3N2 薄膜

Publication Information

Title

Japanese:	超高真空スパッタリング装置を用いた高移動度多結晶 Zn3N2 薄膜
English:

Author

Japanese:	清水篤, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.
English:	Atsushi Shimizu, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, hidenori hiramatsu, HIDEO HOSONO, TOSHIO KAMIYA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Nov. 17, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	薄膜材料デバイス研究会第19回研究集会「新半導体材料・デバイス：SDGs実現へ向けて」
English:

Conference site

Japanese:	京都
English: