振幅成分を利用した補正による忠実度の高いマスクパターン生成手法

Publication Information

Title

Japanese:	振幅成分を利用した補正による忠実度の高いマスクパターン生成手法
English:	High fidelity mask pattern generation method by amplitude component evaluation

Author

Japanese:	堀本遊, 齊藤颯太, 高橋篤司, 小平行秀, 児玉親亮.
English:	Yu Horimoto, Sota Saito, Atsushi Takahashi, Yukihide Kohira, Chikaaki Kodama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2022-79)
English:	IEICE Technical Report (VLD2022-79)

Volume, Number, Page

Vol. 122 No. 402 pp. 37-42

Published date

Mar. 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	VLSI設計技術研究会
English:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

Conference site

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